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产品名称：芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液
发布时间：2021-03-24
产品型号：
产品特点：多相反应器和结晶器的混合、流动、传递及反应：利用计算流体力学、传递学、反应工程学、数学模型化以及多尺度方法，研究反应分离设备内的多相过程机理和变化规律，实现多相设备和过程的科学设计、放大、问题诊断、预测、优化和调控。
团队利用自主开发的数值放大新技术和测量仪器，发明了一系列强化混合、传质传热和反应的新型反应器，应用于搅拌反应器、固定床、膜反应器、微反应器、聚合反应器、环流反应器、浆态床、滴流床、结晶器、生物反应器等，实现了高浓度非均相反应器和结晶器的数值放大和过程强化从基础理论走向工业应用的突破，并已在中石化等近20家石化、医药和精细化工企业应用，包括己内酰胺、有机硅、电子级化学品、药物结晶、航天动力材料等，每年为企业新增利税超过10亿元。
利用计算流体力学、传递学、反应工程学、数学模型化以及多尺度方法，研究反应分离设备内的多相过程机理和变化规律，实现多相设备和过程的科学设计、放大、问题诊断、预测、优化和调控。
工业问题：1、超高纯电子级磷酸被国外长期垄断，As/Sb等杂质导致芯片短路、失效；
2、磷酸合成温度高达1300℃，反应器极易腐蚀，金属杂质带入产品。
支撑超高纯电子级磷酸工艺，打破国外垄断，实现进口替代和出口。
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